| Ders Adı | Kodu | Verildiği Yıl | Verildiği Yarıyıl | Süresi (T+U) | Yerel Kredisi | AKTS Kredisi |
| Mikro Elektromekanik Sistemlerin Tasarım ve İmalatı | ME 481 | | | 3 + 0 | 3 | 5,00 |
| |
| Ders Bilgileri |
| Dersin Öğretim Dili | İngilizce |
| Dersin Seviyesi | Lisans |
| Dersin Türü | Seçmeli |
| Dersin Veriliş Biçimi | Yüz Yüze |
| |
Dersin Öğrenme Kazanımları:
Bu dersi başarı ile tamamlayan öğrenciler: |
| 1. Öğrenciler, MEMS tabanlı üretim teknolojilerini öğrenebilecekler. |
| 2. Öğrenciler, MEMS cihazları tasarlayabilecekler. |
| 3. Öğrenciler, MEMS cihazlarını analiz edebilecekler. |
| 4. Öğrenciler, farklı MEMS tabanlı sensörleri ve aktüatörleri öğrenebilecekler. |
| |
| Dersin Önkoşulları ve Birlikte Alınması Gereken Dersler | Yok |
| Daha Önce Alınmış Olması Önerilen Dersler | Yok |
| |
Dersin Tanımı:
Bu ders, öğrencilere mikro-elektro-mekanik sistemlerin (MEMS) üretilmesi için mevcut teknolojileri açıklamayı amaçlamaktadır. Bu amaçla mevcut mikro-üretim teknolojileri, tasarım kriterleri, tasarım ve simülasyon araçları, MEMS cihazları için kullanılan malzemeler ve ambalaj teknolojileri tanıtılacaktır. Ayrıca, MEMS teknolojileriyle üretilen farklı sensörleri ve aktüatörleri ve çalışma prensiplerini tanıtmayı hedeflemektedir. Genel amaç, MEMS cihazlarının çeşitli tasarım, analiz ve üretim adımları uygulanarak nasıl gerçekleştirildiğini göstermektir. |
| |
| Dersin İçeriği (Haftalık Konu Dağılımı): |
| |
| Hafta | Konu |
| 1 | Mikrosistemlerin Genel Bakışı, Mikrosistemlerin Potansiyeli |
| 2 | Mevcut MikroSensörlerin ve Aktüatörlerin Çalışma Prensipleri |
| 3 | Ölçeklendirme Kanunları |
| 4 | Ortak Mikro-bileşenler ve Cihazlar İçin Kullanılan Malzemeler |
| 5 | Tasarım Araçları |
| 6 | Yüzey Mikroişleme İşlemleri |
| 7 | Yüzey Mikroişleme İşlemleri |
| 8 | Hacimsel Mikroişleme İşlemleri |
| 9 | Dönüştürücüler; Algılama ve Hareket Etme |
| 10 | Kapasitif Dönüşüm Yolları |
| 11 | Piezoelektrik Dönüşüm Yolları |
| 12 | Termal Dönüşüm |
| 13 | IR Tabanlı Sensörler |
| 14 | Ambalajlama Yöntemleri |
| |
| Kaynaklar: |
| Nadim Maluf An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering Artech House, Inc. 1999 0131274988
Allen, J. J. (2005). Micro-electromechanical system design. CRC press. |
| |
| Diğer Kaynaklar: |
| Sergey Edward Lyshevski Nano- and Microelectromechanical Systems: Fundamentals of Nano- and Microengineering CRC Press 2000
M. Elwenspoek, R. Wiegerink Mechanical Microsensors Springer-Verlag 2001
G. T. A. Kovacs Micromachined Transducers Sourcebook McGraw-Hill 1998 |
| |
| Öğretim Yöntem ve Teknikleri: |
| Haftada 3 saat teorik ders. |
| |
| Değerlendirme Sistemi: |
| Yöntem | Adet | Katkı (%) |
| Ara sınav | 1 | %30 |
| Proje | 1 | %30 |
| Final Sınavı | 1 | %40 |
| |
| Ders İşbaşı Eğitimi (iş yerinde eğitim) Gerektiriyor mu? |
| Gerektirmiyor |